【北崎電氣】微壓力傳感器與傳統(tǒng)的比較

微壓力傳感器是采用半導(dǎo)體材料和MEMS工藝制造的新型壓力傳感器。與傳統(tǒng)壓力傳感器相比，微壓力傳感器具有精度高、靈敏度高、動態(tài)特性好、體積小、耐腐蝕、成本低等優(yōu)點。純單晶硅的材料疲勞小，采用這種材料制造的微壓力傳感器的長期穩(wěn)定性好。同時，微壓力傳感器易于與微溫度傳感器集成，增加溫度補償精度，大幅提高傳感器的溫度特性和測量精度。如果將2個微壓力傳感器集成，又可以實現(xiàn)靜壓補償，從而提高壓力傳感器的靜壓特性。由此可見，微壓力傳感器具有許多傳統(tǒng)壓力傳感器不具備的優(yōu)點，能夠很好地滿足石化行業(yè)對壓力傳感器的需求。

壓力傳感器所用的元件材料是具有壓阻效應(yīng)的單晶硅、擴散摻雜硅和多晶硅。根據(jù)晶體不受定向應(yīng)力時，電導(dǎo)率是同性的，只有受定向應(yīng)力時才表現(xiàn)出各向異性，由于應(yīng)力能引起能帶的變化，能谷能量移動，導(dǎo)致電阻率的變化，于是就有電阻的變化，從而產(chǎn)生壓阻效應(yīng)。單晶硅效應(yīng)包括n型和p型硅壓阻效應(yīng)。選用擴散硅目的在于在設(shè)計制造壓力傳感器時可根據(jù)不同溫度下硅擴散層的壓阻特性選擇合適的擴散條件，力求使壓力傳感器具有良好的性能。多晶硅在傳感器中有廣泛的用途，可作為微結(jié)構(gòu)和填充材料、敏感材料。

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